俄罗斯芯片自研龙套，开发 350nm 光刻机。

俄罗斯芯片行业的发展并非一帆风顺。

早在 2013 年，俄罗斯超等筹算机制造商 T-Platforms 就因本领出口问题遭到好意思国封禁。为了开脱对好意思国 X86 平台的依赖，俄罗斯启动押注 MIPS 和 ARM 架构，成立了专注处理器研发的公司—— Baikal Electronics。

然则，受限于俄罗斯自身的芯片制造智力，Baikal 的处理器只可依赖台积电代工。2021 年，好意思国对俄罗斯实施新一轮制裁，导致 Baikal 的芯片坐褥筹画全面受阻。蓝本筹画在 2022 年hongkongdoll leak和 2023 年冉冉量产的 Baikal-S 也因此停摆。更为严重的是，部分已坐褥的芯片因制裁无法拜托俄罗斯，这无疑是雪上加霜。

最终，在多重压力下，Baikal Electronics 于 2023 年文书收歇，这款俄罗斯芯片似乎注定难逃夭殇的庆幸。

然则，近日 Baikal-S 的转头让这一切再行燃起但愿。

Baikal-S 处理器芯片

尽管其 16nm 工艺无法与现时的 5nm、3nm 本领比较，但 Baikal-S 在某些特定畛域也曾达到了实用水平，足以骄矜中低端作事器和特定工业欺骗的需求。

关于俄罗斯而言，这款处理器的价值不仅在于本领性能，而更在于其象征风趣风趣。

正如许多东谈主所说，"有些东西，惟有是我方的，才用得安静。"

无人不晓，在外洋半导体产业链中，配合是兑现本领龙套的要紧途径。然则，受制于制裁和地缘政事身分，俄罗斯难以像其他国度那样通过外洋配合兑现本领飞跃。这意味着，俄罗斯必须在有限的条目下寂寞发展联系本领。

除了芯片以外，光刻机看成芯片制造中的关键中枢，其本领复杂度和精密程度决定了芯片的制造智力。在这个畛域，荷兰的 ASML 一直是当之无愧的王者，凭借其先进的极紫外光 ( EUV ) 光刻机本领，在寰球高端光刻机市集上占据主导地位，险些把持了 7nm 及以下先进制程芯片的坐褥。此外，佳能和尼康也在积极布局，试图在光刻机畛域保有一隅之地。

跟着俄乌构兵的纠缠，泰西的新一轮制裁加重了俄罗斯的缺"芯"程度，加快了俄罗斯自建寂寞芯片产业的决心和过程。因此，光刻机成为了俄罗斯重心关心的焦点，费事在这一关键本领畛域兑现自主可控。

俄罗斯光刻机发展历程追念

面对西方国度的本领闭塞，尤其是 ASML 等光刻开导供应商的出口禁令，俄罗斯政府制定了浩大的芯片产业发展蓝图，旨在通过普及原土化坐褥智力，减少对外部本领的依赖。

这一政策办法在 2024 年取得了本质性的后果，即首台 350nm 光刻机的问世，意味着俄罗斯在半导体产业链上上前迈进了一大步。

但俄罗斯首台光刻机的降生并非一蹴而就，而是资格了长久的本领积存和股东。

实践上，早在上世纪 70 年代，其时的苏联就也曾掌抓了 EUV 摄影光刻的本领。即使在苏联解体后，俄罗斯的科学家们也一直在该畛域肃静教悔，为 "EUV 光刻机 " 的关键本领开发作念出了要紧孝顺。

事实上，EUV 光刻机领有三大中枢本领——光源、投影物镜、工件台。其中最大的难点在于光源，俄罗斯恰是这一畛域的杰出人物。

外洋光源三巨头除了德、日，另一个即是俄罗斯的圣光机。荷兰 ASML 询查 EUV 光刻机时就使用了俄方本领，比如早期询查的光源表面来自俄罗斯科学院，同期俄罗斯向其提供了大齐的光学器件。直到今天，ASML 还和俄科院光谱学询查所（ISAN）仍保持着密切配合，在 EUV 光源居品上，就连英特尔、台积电齐离不开俄方配合。

此外，俄罗斯科学院的微结构物理询查所还为荷兰开发了多层镜制造本领，这在其时算得上是一个了不得的设立。

除了光源，在责任台方面俄方也有"后台"。白俄罗斯的 Planar 是东欧最大的半导体公司，其总司理曾暗示："全宇宙惟有两家公司好像坐褥智谋度高达 06-0.15nm 的传感器，一家来自好意思国，另一家即是咱们。"

从以上梳理不出丑出，俄罗斯在 EUV 光刻光源中枢本领上，的确也曾领有了一定基础，联系科研机构在 ASML 所动员起来的泛欧 EUV 攻关荟萃集有着长久而深远的参与。

天然不成否定，其各项本领产业化水平还不高，更多停留在基础询查和样件试制阶段，在作念出自主研发 EUV 光刻机的决策后，把表面落实到工程无疑还有很长的路要走，不外俄罗斯的努力，依然值得咱们密切关心与模仿。

时候来到 2010 年，彼时的 ASML 也曾将第一台预坐褥的极紫外（EUV）光刻机出货，而这时俄罗斯一个物理询查所 IPM 也正在研发极紫外光刻机的系统和原件，以致也曾弄出来了安装原型的搭建。然则，俄罗斯的这个表情还在布局阶段就也曾宣告结果了。

根由其实很肤浅，首当其冲地即是西方国度对俄罗斯实施的本领禁运和制裁，无疑会给他们的研发带来困难。尤其是俄乌冲突爆发以来，好意思国聚集欧洲国度对俄罗斯实施了全场地、全畛域的制裁。一个国度基本无法单独研发 EUV 光刻机，而 ASML 之是以能完成，是因为它背后是全宇宙供应商的兼听则明。

然则，在濒临外洋制裁和本领闭塞的连接影响下，尽管俄罗斯在光刻机畛域受到重重袭击，但依旧莫得罢手探索的门径。

"晨曦"初现，见效推出 350nm 光刻机

多年来，通过国度实验室和科研机构的援手，俄罗斯光刻开导制造企业通过束缚攻克关键本领难题，冉冉兑现了一系列龙套。

2022 年，俄罗斯科学院下诺夫哥罗德欺骗物理询查所 ( IPF RAS ) 文书，正在开发俄罗斯首套半导体光刻开导，并对外夸下海口：这套光刻机好像使用 7nm 坐褥芯片，可于 2028 年全面投产。

其时，IPF RAS筹画在六年内打造出俄罗斯自产 7nm 光刻机的工业样机，2024 年将创建一台" Alpha 机器"，2026 创建 " 测试机 "，2026-2028 年俄罗斯原土光刻机将获取更鉴定的辐照源，改进的定位和进给系统，并将启动全面的责任，2028 年，这些开导全面运行。

时隔两年，俄罗斯诚然距离 2028 年自产 7nm 光刻机的"海口"距离尚远，但这一高兴已初现晨曦。2024 年 5 月，俄罗斯联邦工业和交易部副部长瓦西里 · 什帕克（Vasily Shpak）说明，第一台能坐褥最大 350nm（行业惯称 0.35μm）芯片的光刻机已见效拼装并进入测试阶段，标志着俄罗斯在芯片制造畛域取得本质性龙套。

俄罗斯接下来的办法是在 2026 年制造不错援手 130nm 工艺的光刻机。再下一步，俄罗斯将陆续冉冉向 90nm 及以下迈进。

尽管相较于咫尺寰球主流的先进水平，如 5 纳米、7 纳米工艺，俄罗斯的这一后果尚显过时，但其在特定畛域仍具有实践欺骗价值。尤其是对俄罗斯而言，350nm 芯片虽不如当代顶端居品先进，但足以骄矜汽车、动力、电信等特定行业需求，且老本效益高，坐褥周期短，结识性经时候考试。

这也标志着俄罗斯在追求半导体产业自主性方面迈出了一大步。在寰球半导体供应链弥留、地缘政事复杂多变的布景下，这项设立为俄罗斯减少对外部本领的依赖提供了可能。

电子工程宇宙对此有报谈指出，350nm（0.35μm）降生于 1995 年，当今依然领有居品欺骗，主如若一些不太刚需制程的特色工艺居品，比如模拟芯片、功率半导体、传感器或者低端 MCU、军工居品。

看成对比，半导体制程工艺发展史肤浅总结如下：

1971 年，10μm 工艺是其时最高工艺，代表芯片是 Intel 1103 DRAM、4004 CPU（1971）、8008 CPU（1972）;1974 年，步入 6μm 工艺，大名鼎鼎的 Intel 8080 便取舍这一制程；1977 年，3μm 工艺开启元年，从此 x86 处理器 Intel 8086（含 8085、8088）留心降生；1982 年 1.5μm 工艺用在 Intel 80286 上，1985 年 1μm 工艺用在 Intel 80386 上，1989 年，0.8μm 工艺用在 Intel 80486 上；1995 年，0.35μm（也即是 350nm）工艺开启元年，Pentium P54CS、IBM P2SC（1996）、IBM POWER3（1998）齐取舍了这一工艺；1997 年，主节点为 0.25μm 工艺，启动引入外洋半导体本剖析线图（ITRS）主节点和半节点界说，即：1998 年半节点 220nm 工艺，1999 年主节点 0.18μm 工艺（180nm），2000 年半节点 150nm 工艺；2001 年，130nm 是其时的主节点，典型芯片是 130nm 的奔腾 3 处理器，2002 年半节点为 110nm 工艺；2004 年，步入 90nm 元年，英特尔、英飞凌、德州仪器、IBM、联电和台积电基本齐能达到 90nm，典型芯片包括 90nm 的奔腾 4 处理器；2012 年，制程步入 22nm 阶段，此时英特尔，联电，联发科，格芯，台积电，三星等厂商齐具备坐褥智力；2015 年联电留步于 14nm，2017 年英特尔卡在了 10nm，2018 年格芯废弃 7nm，此时先进制程的战场只剩下台积电和三星；2019 年 6nm 量产导入，2020 工艺 5nm 启动量产，而国内也启动量产 14nm 芯片；2024 年，跟着英特尔启动再行兴趣制程本领，英特尔、台积电、三星正在争夺 2nm 的先发地位。

俄罗斯工业和交易部并不以为莫得掌抓更先进的工艺有什么问题，Vasily Shpak 认为，

关于现阶段的俄罗斯来说，这台光刻机的问世不仅不错使其一定程度开脱西方制裁，更给以了俄罗斯国内极大的信心，改日将大幅减少对外依赖。

俄罗斯光刻机，再曝新进展

关于高端光刻机攻关，不少东谈主抱有着一种朴素的信念：既然 ASML 也曾解释了 LPP-EUV 本剖析线走得通，就好像一齐别东谈主也曾解出来的难题，看成亦步亦趋的自后者只须资源进入充足多，再复杂的工程问题也总能经管。

这么的想法，照真实大部分情况下齐是成立的，学习消化再翻新的效果无用置疑。但与此同期，集成电路、工业软件、量测仪器等畛域存在的"卡脖子"情景足以教唆咱们，某些关于基础表面积存要求很高的方法，"表面不够，工程来凑"也有其局限性，旨趣相识不充分的情况下，工程老本、程度乃至最终适度将濒临巨大省略情趣。

深谙此谈的俄罗斯，依托其在高能激光、等离子体物理基础询查上的积存，在光刻机研发上取舍了一条颇具特色和"章法"的新路。

据 cnews 近日音信报谈，俄罗斯科学院微结构物理询查所（IPM RAS）提倡了一项新筹画，旨在制造比荷兰 ASML 公司更经济、更高效的光刻机。

据先容，该光刻机旨在打造"高性能 X 射线光刻发展新观念"，俄罗斯取舍不整个复制 ASML 的本剖析线，而是开发责任波长为 11.2nm 的新式光刻开导，而非 ASML 的 13.5nm，以镌汰研发老本并简化制造经过，并将开导的分辨率提高 20%。

俄罗斯有广阔机构，在参与这项复杂纷乱的表情

此外，IPM RAS 筹画用氙代替锡看成激光等离子光源，这将显赫减少光学元件的混浊，并延迟崇高零部件如反射镜和保护膜的使用寿命。

该筹画分为三个阶段：

第一阶段：本领龙套进行科学询查与工程想象，经管关键本领难题，提倡校正本领经管决策的建议。制定配合框架和开导清单，为后续阶段奠定基础。创建光刻实验样本，以测试真正本领经过中的通盘元素，开发抗蚀剂并开发使用 X 射线光刻造成纳米结构的本领。

NCFM 参与了波长为 11.2nm 的光刻机的开发（来自 NCFM 演示的框架）

第二阶段：实验考证制造用于测试的实验性光刻开导，并整合 X 射线光刻本领。集成高效多镜头投影系统和多千瓦激光器，用于 200/300 毫米晶圆的工艺测试。第三阶段：产业化开发合适工业欺骗的高性能光刻开导，筹画量产直径 300 毫米晶圆的开导，坐褥智力超每小时 60 片。

文献中莫得指定各个阶段的时候安排。

不外，CNews 报谈了 RAS 欺骗物理询查所于 2022 年 10 月启动进行光刻责任的情况。预测到 2028 年，该开导将全面运行，好像坐褥使用 7nm 拓扑的芯片，服从预测比 ASML 光刻机高 1.5-2 倍。

为了援手这一表情，俄罗斯科学院也曾向其提供了约 100 亿卢布的信贷援手，并资助了两家企业，辩认是在集成电路成套工艺方面率先的 Integral 公司和在精密光刻开导畛域领有丰富教导的 Planar 公司。

此前，俄罗斯政府启动了一项国度筹画，俄罗斯工业和交易部在 2023 年 10 月提倡了一份路子图。凭据该路子图，俄罗斯将在 2028 年启动量产 28nm 芯片，并在 2030 年启动坐褥 14nm 芯片，对尽可能多的番邦芯片进行逆向工程，并培养原土着才从事国产芯片替代责任。

同期，据俄罗斯媒体征引俄新社报谈，圣彼得堡理工大学的询查东谈主员开发了一种国产光刻复合体，包括两个开导，一个是在基板上进行无掩膜的光刻安装，另一个是硅的等离子体化学蚀刻开导。

该开导的老本令业界惊诧，用于无掩膜光刻的开导老本仅为 500 万卢布（约合 36.6 万东谈主民币），另一种用具的老本暂未公开。要知谈，一台 ASML 的 DUV 价钱是 8000 万好意思元（约合东谈主民币 5.8 亿元），而 EUV 价钱更是高达 1.9 亿好意思元（约合东谈主民币 12 亿元）。价钱悬殊可谓巨大。

从本领念念路上来评价，取舍无掩膜光刻，意味着物镜系统不错得到很大简化，EUV 光反射次数更少，损耗天然更小，连带着对光源输出功率的要求也不错放宽，因此不管取舍锡源的传统决策如故氙源翻新决策，至少 ASML 在普及光源功率和可珍视性上消费的天量资金、十余年时候以及积存的大齐独家 knowhow 有但愿被绕开。

MEMS 微镜调制的图案只需三片反射镜就好像投影于晶圆

这一研发后果关于俄罗斯芯片的自力新生至关要紧，圣彼得堡理工大学的巨匠暗示，这将使"经管俄罗斯在微电子畛域的本领主权问题"成为可能。

俄罗斯开发的全新 EUV 光刻机，将筹画使用 X 射线本领，不需要光掩膜就能坐褥芯片（当今 ASML 的 EUV 光刻机使用的是极紫外光）。

与传统光刻本领比较，X 射线光刻机不管是在经济老本如故时候老本方面，这项本领齐低廉得多，因为传统光刻本领需要使用特意的光掩膜来获取图像。而 X 射线光刻机则不需要光掩膜，不错直写光刻，因此省俭了一大笔用度。

此外，X 射线光刻机使用的 X 射线，波长介于 0.01nm 到 10nm 之间，比 EUV 极紫外光还要短，因此光刻分辨率要高许多。

改日俄罗斯光刻机与现存 ASML 光刻机的性格对比

该表将 ASML 制造的 TWINSCAN NXE:3600D 光刻机的主要参数与 IPM RAS 正在开发的光刻机的预期参数进行了比较。不错看出，平均激光功率为 3.6 kW，波长 11.2nm 下的预期性能将比 ASML 光刻机低约 2.7 倍。

有巨匠指出，"关于非头部工场来说，这个值也曾充足了，斟酌到芯片上的通盘层中，X 射线光刻仅用于几个关键层的造成。因此，这一观念的见效实施将兑当今不就义分辨率的情况下提高用户 X 射线光刻的可及性的办法。"

事实上，早在 2022 年 4 月，俄罗斯媒体就报谈称，莫斯科电子本领学院 ( MIET ) 相接了贸工部开发制造芯片的光刻机表情，该表情由俄罗斯政府首期投资 6.7 亿卢布资金（约合 5100 万元东谈主民币）。研发的光刻机筹画达到 EUV 级别，但本领旨趣与 ASML 的 EUV 整个不同，是基于"同步加快器和 / 或等离子体源"的无掩模 X 射线光刻机。

2023 年 3 月，俄罗斯科学院微结构物理询查所多层 X 射线光学系主任 Nikolai Ivanovich Chkhalo 在会上发表了一份敷陈" EUV 光刻：俄罗斯发展的原则、近况和路子图"。在回报联系扩充经典 EUV 光刻和无掩模光刻的问题时，Nikolai IvanovichChkhalo 暗示，在俄罗斯咫尺的询查框架和智力范围内，创造出 MEMS 振镜是不成能完成的任务。尽管进行了十年的询查，但仍无国法东谈主惬心肠开发该本领。另一个本领办法——四百层 X 射线透镜——俄罗斯有可能创建它。

尽管领有上风，但 X 射线开导的坐褥智力和服从与 ASML 的机型比较仍显不及，不外在特定场景或小畛域芯片坐褥中具有实用性。

俄罗斯科学院微结构物理询查所副长处尼古拉 · 奇卡洛暗示，看成光刻本领的寰球调换者，ASML 已研发其 EUV 光刻系统近 20 年，该本领已被解释额外复杂。况兼，晶圆开导不仅限于光刻机，还需要有其他类型的开导用于扩充蚀刻、千里积、光刻胶去除、计量以及搜检操作，此外还有一些不太先进的开导，这些大部分齐来自于西方市集。

也即是说，即使俄罗斯见效制造出光刻机，仍需要数百台开导来建造一座当代化晶圆厂，而咫尺西方也曾绝对割断了对俄罗斯的供应。但不管如何，俄罗斯为了兑现半导体产业自主可控，启航点加大了对光刻机畛域的进入和援手，尽管咫尺 350nm 的工艺并不先进，但关于此时的俄罗斯来讲也曾额外要紧了。

俄罗斯在光刻机本领畛域诚然濒临本领闭塞和东谈主才不及的挑战，但凭借国度政策的援手、本领积存和外洋配合，冉冉在这一关键本领畛域取得了进展。

改日，俄罗斯将陆续加大对光刻开导本领的研发进入，努力兑现从中低端到高端开导的卓绝式发展。通过连接的翻新和正常的外洋配合，俄罗斯有望在光刻机本领畛域取得更大龙套，为寰球半导体产业的发展作出积极孝顺。

当年微电子霸主，能否重拾色泽？

苏联曾是宇宙上微电子本领最鉴定的国度之一，以致一度率先好意思国。然则，苏联解体后，大齐科研东谈主才赶赴好意思国，俄罗斯在经济阑珊、政事不稳的阵势下，微电子产业也渐渐走向雕残。

尽管如斯，以及多年来濒临西方制裁，包括资金不及和东谈主才匮乏等诸多逆境，俄罗斯并莫得就此摆烂，为了幸免本取舍制于东谈主，这些年来依然在潜心搞研发，渴慕动须相应扭转阵势。

尤其是在光刻本领上，俄罗斯决心通过翻新路子图来龙套咫尺的困局，并但愿在 2028 年前完成研发责任。若这一进程顺利，俄罗斯可能会成为中袖珍芯片制造商的要紧开导供应商为寰球芯片坐褥提供新取舍，也为通盘行业模式带来新的变化。

总体而言，面对卡脖子，俄罗斯宝石自主研发、匠心独具的精神依然值得信服。俄罗斯这一光刻机的研发办法在本领上具有一定的翻新性，若能克服各项挑战，果然在 X 射线光刻本领上取得龙套，将可能重写寰球半导体产业的竞争态势。跟着芯片制造的需求束缚增长，这一新兴市集关于本领自主权和性价比优化的要求也更加贫困。

改日，俄罗斯有望在寰球芯片制造竞争中占据一隅之地，成为新兴市集的要紧参赛者。俄罗斯绕开 ASML 的本领钳制，关于我国半导体产业的发展亦然一个启发。

但比较之下，我国科技界、产业界对俄罗斯的意志，似乎还深广有所滞后。在一篇分析中俄科技翻新合立场险挑战的泰斗著述中，作家忧心肠指出："俄罗斯在基础询查、核能本领、空间科学本领、新材料、生物本领等广阔畛域领有浑雄厚力并取得了令东谈主防护的收成，但我国某些产业界，以致科技界自己对俄罗斯科技水平齐枯竭充足意志和应有评价，存在责难俄罗斯科技实力而盲目阐扬西方的倾向，在寻求科技配联合伴时，同样优先斟酌好意思、欧、日，对俄罗斯却不予兴趣，往往多方寻觅无果后才把观点转向俄罗斯，疲塌了配合时机"。

值得提神的是，跟着俄乌冲突爆发，俄罗斯科技界正常的外洋交流行径遭到了全面围堵打压，从奥数竞赛到学术会议，"将俄罗斯科学与外洋配合拦截的企图将反应在通盘办法中"，当数百名俄罗斯科学家被从欧洲核子询查中心（CERN）收场，标志着这种歇斯底里的抑止达到了偏执。

但也恰是在这种刺激下，俄罗斯科学询查与高本领产业发展，似乎正昂然出新的阵势，或者说，再行唤起一种民族的签订韧性。在工业母机、关键软件等畛域，俄罗斯国产替代责任业已全面铺开。

而光刻机hongkongdoll leak，恰是这一海潮的小小缩影。